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本发明公开了一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法，包括套设在磨片清洗机驱动架上的移动座，所述移动座的底部设置有夹爪结构，所述移动座包括套设在磨片清洗机驱动架上的滑动座，且滑动座的底部贯穿滑动连接有位移调节座，所述夹爪结构安装于位移调节座底部，本发明涉及技术领域。该防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法，通过在夹爪底部设置勾爪构成的防脱结构，可以有效勾住片盒的两边，可提高防滑效果，且整个夹爪结构可通过位移调节座在滑动座底部小幅度的平移，即使片盒在清洗池内有小幅度的偏移，在再次夹起时也可利用两
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117380692A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311493757.4
(22)申请日2023.11.10
(71)申请人杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
地
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