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本发明属于流量阀技术领域，具体涉及一种半导体用大小流量切换阀及其使用方法，本半导体用大小流量切换阀包括：阀体、第一驱动机构、第一胶塞、第二驱动组件和第二胶塞；当第一活动腔内为正压时，正压将第一胶塞的第一环边压紧在第一活动腔与第一切换室之间第一密封槽内；当第二活动腔内为正压时，正压将第二胶塞的第二环边压紧在第二活动腔与第二切换室之间第二密封槽内；本发明通过第一驱动机构、第二驱动机构分别向第一胶塞的第一环边、第二胶塞的第二环边施加压力，能够克服大小流量切换阀内密封件松动的问题，同时无论密封件为动态使
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117386854A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311696248.1
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人海普瑞（常州）洁净系统科技有限公
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