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一种基于气相色谱‑质谱法的三氟甲基磺酰氟气体及其分解产物的测定方法，主要包括放电发生装置、实验气罐、气相色谱‑质谱仪、气压表、电极、气路。实验前将三氟甲基磺酰氟气体充入实验气罐至实验气压，然后利用放电发生装置对电极施加工频交流高电压，产生局部放电获得分解气体。实验前后，分别将实验气罐中的气体通过气路通入气相色谱‑质谱仪分离混合气体并进行全扫描模式的检测，通过比对标准气体的保留时间和标准质谱数据库，测定三氟甲基磺酰氟的杂质及分解产物的组分，达到分离并检测三氟甲基磺酰氟混合气体的目的。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117405811A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311486362.1
(22)申请日2023.11.09
(71)申请人中国科学院电工研
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