《半导体物理》实验指导书(2023年版).docx

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半导体物理

验指导书

信息工程学院电子科学与技术教研室

2023

目 录

试验一:霍尔效应???????????????????1

试验二:四探针法测量半导体电阻率及薄层电阻??????6

试验三:椭偏法测薄膜厚度和折射率???????????9附录A:《RTS-8型双电测四探针测试仪用户手册》?????11附录B:《WJZ/WJZ-Ⅱ型多功能激光椭圆偏振仪使用手册》?30

I

10

试验一霍尔效应

一、试验目的

了解霍尔器材对材料要求的学问;

学习用“对称测量法”消退副效应的影响,测量试样的V ~I 曲线;

H S

学会确定试样的导电类

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