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2024-01-27 发布于四川
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一种碲锌镉晶体的腐蚀工艺.pdf

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本发明涉及探测器加工工艺领域，具体是一种碲锌镉晶体的腐蚀工艺。本发明提供的碲锌镉晶体的腐蚀工艺，包括：采用溴的甲醇溶液对碲锌镉晶体进行腐蚀；所述溴的甲醇溶液中溴的质量浓度为1wt％～3wt％。本发明提供的碲锌镉晶体的腐蚀工艺创新性地选用了特定比例的溴的甲醇溶液，可以对碲锌镉晶体进行定量微米级精度的腐蚀，实现对碲锌镉晶体表面的稳定处理，还可以去除碲锌镉晶体一些细微划伤和表面缺陷，从而提高最终碲锌镉探测器的性能。实验表明，本发明提供的腐蚀工艺以1wt％～3wt％的溴的甲醇溶液对碲锌镉单晶晶体进行腐蚀

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117448970A

(43)申请公布日2024.01.26

(21)申请号202311440391.4

(22)申请日2023.11.01

(71)申请人安徽光智科技有限公司

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