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本申请涉及蒸镀设备技术领域，公开了一种光电器件加工用金属蒸镀设备，包括蒸发源结构，所述蒸发源结构包括坩埚，坩埚的内侧壁有一部分设有加热板或加热丝，所述坩埚内设有隔板，所述隔板固定连接有固定构件，所述隔板通过弹性片连接有滑动板，所述滑动板的中部设有连接罩，所述滑动板连接有喷头，所述喷头穿过固定构件并与固定构件固定连接。利用隔板将坩埚内分割成多个小腔体，将液体分散，减少液体回流时撞击隔板的冲击力，喷头位于滑动板中心，其次，在膨胀时受力均匀，降低喷头方向偏移的风险，同时，由于的隔板位置相对固定，利用隔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117488249A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311469280.6
(22)申请日2023.11.07
(71)申请人马鞍山欧大传感科技有限公司
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