一种高精度的涂布模块.pdfVIP

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本实用新型公开了一种高精度的涂布模块,包括涂布板体;涂布模块整体是采用涂布头运动组件作为部件骨架,同时部件采用高精度运动部件连接涂布头运动组件与左运动座和右运动座,涂布头微调组件采用高精度运动部件与涂布头运动组件连接,接触式测位传感器用于涂布模块在与运动平台安装时调平使用;激光测位传感器用于设备工作时实时监测涂布头与玻璃基片的距离,通过本实用新型改进采用激光测位传感器和接触式测位传感器实时检测涂布头与在玻璃基片间距,通过X轴直线电机模组和Z轴伺服驱动模块保证涂布头的动作间隙,涂布头组件采用高刚性

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220444232U

(45)授权公告日2024.02.06

(21)申请号202321823728.5

(22)申请日2023.07.12

(73)专利权人南京奥联光能科技有限公司

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