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2024-02-07 发布于四川
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基于特征金字塔融合的晶圆图缺陷模式识别方法.pdf

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本发明公开了一种基于特征金字塔融合的晶圆图缺陷模式识别方法，包括：以残差块搭建一个27层的残差网络作为特征提取主干网络；将晶圆图数据集以8:2比例划分为训练集和测试集，对所述残差网络进行学习训练；构建特征金字塔网络，使用双线性插值算法对深层特征做上采样后与浅层特征相加融合，使浅层特征包含深层特征的高级语义信息；对所述融合后的金字塔特征进一步做多尺度特征融合得到最终特征，经过全连接层和Softmax函数做分类；本发明通过构建特征金字塔并对浅层特征进行融合，使浅层的特征也包含了深层的高级语义特征信息

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117523363A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311580607.7

(22)申请日2023.11.24

(71)申请人桂林电子科技大学

地址5410

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