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提供加工方法,在对形成有膜的板状的被加工物进行分割的情况下,不使切削刀具产生堵塞并且不利用激光加工装置而能够对被加工物进行加工。该加工方法具有如下的步骤:槽形成步骤,从被加工物(W)的正面(W1a)沿着分割预定线(S)形成槽(M1);扩展片粘贴步骤,在实施了槽形成步骤之后,在被加工物(W)的正面(W1a)上粘贴扩展片(T3);扩展步骤,在实施了扩展片粘贴步骤之后,对扩展片(T3)进行扩展;以及喷射步骤,在实施了扩展步骤之后,对被加工物(W)的膜(W2)喷射喷射物(P)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108630536A
(43)申请公布日
2018.10.09
(21)申请号20181
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