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本发明提供了一种镜头阵列和晶圆检测设备,属于半导体检测领域,镜头阵列包括光轴共面的多个镜头,用于实现等效的大数值孔径,每个镜头采用空间上相互独立的相干/非相干光照明;每个镜头对应的照明光斑独立调制以实现相同照明条件或不同照明条件;镜头阵列通过每个镜头不同的照明设置实现同时提供多种照明模式。本申请采用沿扫描方向顺序排列的物镜阵列和照明阵列,可以实现单一物镜无法实现的大有效数值孔径,同时保证较大的物镜工作距离,本方案可以沿扫描方向排列不同数量的镜头,同时实现包括多波长、明暗场模式、不同照明模式等多功
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538333A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311800800.7
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人苏州矽行半导体技术有限公司
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