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洁净室及有关受控环境——第3部分：…..检测措施ISO14644-3第一版2005-12-15国际标准INTERNATIONALSTANDARD洁净室及有关受控环境第第33部分：检测措施目次序言引言1范围2引用原则3术语与定义3.1概述3.2空气悬浮粒子测量3.3空气过滤器与系统3.4气流3.5静电测量3.6测量仪器与测量条件3.7占用状态ReferencenumberISO14644-3:2023(E)C
ISO
国际标准
INTERNATIONAL
STANDARD14644-3
第一版
mnne4n4E
洁净室及有关受控环境
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