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本发明提供一种承载装置及半导体工艺设备,该装置包括卡盘和多个顶针机构,在卡盘中设置有多个背吹气孔和多个顶针孔,多个顶针机构与多个顶针孔一一对应地设置,每个顶针机构均包括顶针,顶针可升降地穿设于对应的顶针孔中;在卡盘中还设置有背吹通道,背吹通道包括第一子通道和第二子通道,其中,第一子通道与各背吹气孔连通,且在卡盘的底面设置有第一入口端;第二子通道与各顶针孔连通,且在卡盘的底面设置有第二入口端。本方案可以避免出现粘片现象,从而可以避免顶针将晶圆顶碎或者顶针断裂,而且还可以避免工艺腔室中产生的反应副产
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117577575A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202410059005.5
(22)申请日2024.01.16
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地
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