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用于从含金属抗蚀剂中去除边珠的组合物以及包括使用所述组合物去除边珠的步骤的形成图案的方法.pdf

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提供一种用于从含金属抗蚀剂中去除边珠的组合物以及一种形成图案的方法，所述方法包括使用所述组合物来去除边珠的步骤，且所述组合物包括有机溶剂以及具有7g/mol·ea或大于7g/mol·ea的平均分子量的化合物。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117597425A

(43)申请公布日2024.02.23

(21)申请号202280047517.9李东炯韩多顺金旼秀金宰贤

(22)申请日2022.07.04

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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