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化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案
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化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案
目录
TOC\h\z23999前言 3
1105一、化合物半导体的外延生长设备项目选址可行性分析 3
24237(一)、化合物半导体的外延生长设备项目选址 3
14990(二)、用地控制指标 3
9851(三)、节约用地措施 5
25268(四)、总图布置方案 7
29177(五)、选址综合评价 8
27788二、化合物半导体的外延生长设备项目绩效评估 9
26397(一)、绩效评估指标 9
20028(二)、绩效评估方法 1
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