2023年化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案.docx

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化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案

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化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案

目录

TOC\h\z23999前言 3

1105一、化合物半导体的外延生长设备项目选址可行性分析 3

24237(一)、化合物半导体的外延生长设备项目选址 3

14990(二)、用地控制指标 3

9851(三)、节约用地措施 5

25268(四)、总图布置方案 7

29177(五)、选址综合评价 8

27788二、化合物半导体的外延生长设备项目绩效评估 9

26397(一)、绩效评估指标 9

20028(二)、绩效评估方法 1

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