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本发明涉及半导体领域，公开了一种红外传感器阵列及其制备方法、红外探测器件，方法包括：获得具有像元阵列的传感器晶圆；将具有像元阵列的传感器晶圆的正面与载板晶圆进行临时键合；减薄衬底，并刻蚀减薄后衬底对应有效像元之间的区域，形成第一通孔；在具有像元阵列的传感器晶圆的背面沉积第一绝缘层并在第一通孔内填充第一金属层；将具有像元阵列的传感器晶圆与电路晶圆键合；将具有像元阵列的传感器晶圆与载板晶圆解临时键合；从具有像元阵列的传感器晶圆的正面刻蚀缓冲层对应有效像元之间的区域，形成第二通孔；在具有像元阵列的传感
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117613057A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311497955.8
(22)申请日2023.11.10
(71)申请人山东云海国创云计算装备产业创新
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