TCCGA 30007-2022 电子级三氟化氯.pdf

ICS71.100.20

CCSG86

CCGA

中国工业气体工业协会团体标准

T/CCGA30007—2022

电子级三氟化氯

Electronicchlorinetrifluoride

2022-12-28发布2023-03-01实施

中国工业气体工业协会发布

T/CCGA30007—2022

电子级三氟化氯

1范围

本标准规定了电子级三氟化氯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、储运及安全信息的

要求。

本标准适用于以氟气和氯气为原料制备的三氟化氯产品，该产品主要用于半导体等领域。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用

于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T27550气瓶充装站安全技术条件

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T32566不锈钢焊接气瓶

GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定

TSG23气瓶安全技术规程

T/CCGA20006气瓶安全使用技术规定

AS/NZS2161.1职业防护手套，第1部分：选择、使用和维护（Occupationalprotectivegloves,

Part1:Selection,useandmaintenance）

3技术要求

三氟化氯应符合表1的要求。

表1技术要求

项目指标

三氟化氯(ClF)（摩尔分数）/10-2≥99.95

3

氟化氢(HF)（摩尔分数）/10-6＜350

氮(N)（摩尔分数）/10-6＜40

2

氧(O)（摩尔分数）/10-6＜10

2

氯气(Cl)（摩尔分数）/10-6＜50

2

氟气(F)（摩尔分数）/10-6＜50

2

3