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证券研究报告
行业报告|行业专题研究2024年03月04日
专用设备
半导体射频电源专题:激荡频波,驭势而行!
作者:
分析师朱晔SAC执业证书编号:S1110522080001
分析师张钰莹SAC执业证书编号:S1110523080002
行业评级:强于大市(维持评级)
请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明上次评级:强于大市1
摘要
射频电源:高技术壁垒核心零部件
✓射频电源是可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源,虽然射频的频段很宽,但半导体设备用的射频电源工作频率一般
处于2MHz至60MHz之间。核心技术难点在于参数稳定性、控制精度与阻抗匹配。随着技术的不断发展,市场将逐渐向高
频、高功率、小型化和能效方向发展。
射频电源应用:
✓1)半导体:刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等。2)光伏:PECVD、RPD等。3)面板:TFT阵列、CELL成盒制作等。
半导体射频电源市场:国外头部企业垄断、市场集中度较高
✓2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元,预计2029年将达到14.57亿美元,年复合增长率(CAGR)为
11.18%(2023-2029)。中国市场(含中国台湾地区)2022年市场规模为96.6百万美元,约占全球的13.31%。
✓2022年,全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪(AE)、日本大阪变压器株式会社,占有大约52.95%的市场份额。
海外半导体射频电源公司如何发展:
✓MKS:向半导体行业提供环形等离子体源的领导者,面向FinFET开发自适应脉冲技术,以一致的脉冲提供射频功率。
✓AE:拥有更稳定的eVerest系列射频等离子体发生器、更快更准的NavigatorII系列射频匹配网络,专有算法PowerInsight应对
匹配网络生命周期的不确定性。深耕全射频传输系统,为多种工艺提供不同产品匹配方案。
✓DAIHEN:1986年开始生产半导体制造设备用的射频发生器,使用内部等离子体评估室进行技术开发(如脉冲输出和频率调
谐)、产品性能评估以及功能改进。
相关标的:英杰电气、爱科赛博、北方华创等。
风险提示:技术与产品研发风险、市场开拓风险、需求波动风险等。文中所提爱科赛博业绩预告数据仅为初步核算数据,准确的
财务数据以公司正式披露的年报为准。
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射频电源:
高技术壁垒核心零部件
请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明3
1.1射频电源(RFPowerSupply):高技术壁垒核心零部件
电源:给电气或电子设备提供电力的装置,主要作用是将电网、发电机、电池等发出的一次电能转换为可供用电设备使用的
二次电能。电源按输出类型可分为直流电源和交流电源,而交流电源按照频率大小可以分为中频电源、射频电源、微波电源。
射频电源:可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源,虽然射频的频段很宽,但半导体设备用的射频电源工作频率一般
处于2MHz至60MHz之间。
射频电源应用领域:射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中,起到激发等
离子体、选择刻蚀方向等作用。LED与太阳能光伏行业、科学研究、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领
域也有应用。
图:射频电源应用场景
资料来源:合肥协同半导体产业研究院公众号,中科英智公众号,天风证券研究所
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