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第四章硅的体单晶生长和硅片加工
第四章硅的体单晶生长和硅片加工
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第四章硅的体单晶生长和硅片加工
概述
假设认为硅的提纯是典型的化工过程的话，那么从高纯度的多晶硅生长单晶硅则是半导体器件制造的第一步。虽然尝试过各种技术来将多晶硅转变为单晶硅，最终只有两种技术被应用于单晶硅的实际生产——直拉法和区熔法。这两种方法之所以得到应用是由于它们能够满足半导体器件制造的需要。生长出的硅单晶锭还需要经过截断、切割成薄片、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等工序才能成为可以供给应器件制造者的硅片。
现代的半导体工业需要高纯度、高度完整性的硅单晶片作为制造半导体器件的根本材料，以保证器件
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