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本发明提供了一种理论光谱数据的优化方法和测量方法,该方法包括如下步骤:获取在X、Y方向均具有周期性结构的样品的结构模型,获取结构模型在X、Y方向上的收敛级次对集合;基于收敛级次对集合建立第一、第三级次对集合,对于第三级次对集合中的每个级次对,建立第二级次对集合并获取该级次对的均方误差,通过第一阈值过滤均方误差较小的级次对,余下的级次对和第一级次对集合中级次对的并集形成优化级次对集合;根据优化级次对集合对光特性参量进行傅里叶级数展开,应用RCWA算法来计算理论光谱数据。本发明提供的一种理论光谱数据
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117708512A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311728323.8
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人上海精测半导体技术有限公司
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