一种碳化硅单晶生长用籽晶的粘接连接结构及方法.pdfVIP

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2024-03-16 发布于四川
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一种碳化硅单晶生长用籽晶的粘接连接结构及方法.pdf

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本发明公开了一种碳化硅单晶生长用籽晶的粘接连接结构及方法，所述粘接连接结构包括从上至下依次设置的载体、缓冲层和籽晶，所述缓冲层上设置有若干个孔洞，所述缓冲层的上侧面和/或下侧面、籽晶的粘接面、载体的粘接面中的任意一个或者多个分别涂覆有粘接剂，所述载体、缓冲层和籽晶依次通过粘接剂相互连接。本发明通过在缓冲层设置孔洞阵列，有利于籽晶与石墨盖或石墨托的粘接，通过预固化使粘结剂在固化碳化过程中减小产生挥发性气体，使粘结剂分布更均匀，防止籽晶脱落以及晶体因应力过大而产生裂痕，显著改善了籽晶的粘接稳定性，有

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117702241A

(43)申请公布日2024.03.15

(21)申请号202311796050.0C30B35/00(2006.01)

(22)申请日2023.12.

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