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液一粒两相强制环流光整加工技术的研究的中期报告

中期报告：液一粒两相强制环流光整加工技术的研究

一、研究背景

随着微电子、光电子、生物医学等领域的快速发展，对于高精度光学器件的需求不断增加。而光学器件的微纳加工技术也随之不断发展，其中光学加工技术是其中重要的一种方法。传统的光学加工技术包括激光加工、电子束曝光加工、等离子体加工等方法，但这些方法的成本较高、易受到环境因素的影响等问题限制了其广泛应用。因此，提高光学器件的加工精度、降低成本是当前行业的一个重要课题。

二、研究目的

本研究旨在利用液一粒两相强制环流光整加工技术，实现高精度光学器件的微纳加工。具体研究内容包括液相与固相共用加工液，通过环流强制流动使得加工液流动状态更稳定，从而提高加工精度；通过微米级液滴的运动控制，实现对加工过程中液面的均匀分布及表面张力调节，从而降低器件加工过程中出现的表面粗糙度。

三、研究方法

本研究主要采用数值模拟方法进行研究，通过数值模拟得到加工液在不同环流速度、液一粒两相比例条件下的流动状态及加工效果。同时，还会进行实验验证，通过不同参数下的加工实验，评价加工液流动状态、加工效果及器件表面粗糙度的变化情况。

四、研究进展及预期结果

目前，我们已经完成了数值模拟环流强制流动的研究，初步得到了加工液在不同环流速度下的流动状态图。同时，我们还搭建了实验平台，进行了不同液粒比例下的光整加工实验。预期结果是通过本研究提出的液一粒两相强制环流光整加工技术，实现高精度光学器件的微纳加工，降低加工过程中的表面粗糙度，提高加工精度。