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２０１４年１１月第３５卷第６期电子工艺技术
ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＰｒｏｃｅｓｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ３３７
ＬＴＣＣ印刷网版制作工艺研究
卢会湘，陈磊，刘瑶
（１．河北远东通信系统工程有限公司，河北石家庄０５００８１；
２．河北诺亚人力资源开发有限公司，河北石家庄０５００３５）
摘要：丝网印刷是ＬＴＣＣ技术中导体图形制作的关键工艺，印刷网版的质量直接决定了丝印线条的好
坏。介绍了ＬＴＣＣ印刷网版制作的工艺流程，对其关键工艺步骤进行了分析研究，并给出了网版制作过程中的
工艺要点。
关键词：ＬＴＣＣ；丝网印刷；网版制作
中图分类号：ＴＮ４５文献标识码：Ａ文章编号：１００１—３４７４（２０１４）０６—０３３７—０４
ＳｔｕｄｙｏｎＰｒｏｃｅｓｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＭａｋｉｎｇＬＴＣＣＳｃｒｅｅｎ
ＬＵＨｕｉ．ｘｉａｎｇ．ＣＨＥＮＬｅｉ，ＬＩＵＹａｏ
Ｉ１．ＨｅｂｅｉＦａｒ－ＥａｓｔＣｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎＳｙｓｔｅｍＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＣｏ．Ｌｔｄ．．Ｓｈｉｊｉａｚｈｕａｎｇ０５００８１．Ｃｈｉｎａ；
２．ＨｅｂｅｉＮｏａｈＨｕｍａｎＲｅｓｏｕｒｃｅＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔＣｏ．Ｌｔｄ．．Ｓｈｉｊｉａｚｈｕａｎｇ０５００３５．Ｃｈｉｎａｌ
Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＳｃｒｅｅｎｐｒｉｎｔｉｎｇｉｓｔｈｅｋｅｙｐｒｏｃｅｓｓｄｕｒｉｎｇｍａｋｉｎｇｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌｉｎｅｉｎＬＴＣＣｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｔｈｅｓｔａｎｄ
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ｐｒｏｃｅｓｓａｎｄａｎａｌｙｚｅｔｈｅｋｅｙｐｒｏｃｅｓｓｓｔｅｐｓｏｆｍａｋｉｎｇＬＴＣＣｓｃｒｅｅｎ．
ＫｅｙＷｏｒｄｓ：ＬＴＣＣ；Ｓｃｒｅｅｎｐｒｉｎｔｉｎｇ；Ｓｃｒｅｅｎｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ
ＤｏｃｕｍｅｎｔＣｏｄｅ：ＡＡｒｔｉｃｌｅＩＤ：１００１－３４７４（２０１４）０６—０３３７－０４
ＬＴＣＣ（ＬｏｗＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＣｏ—ｆｉｒｅｄＣｅｒａｍｉｃ，有：印刷速度、刮胶压力、离网间距、浆料黏度以及
即低温共烧陶瓷）技术是一种新型微电子封装技所用网版的网布规格、张力大小、感光膜厚度等ｐ］，
术，它集多层互连、埋置无源元件和气密性封装于其中印刷速度、刮胶压力、离网间距、浆料黏度等
体，而且高频特性优良，技术优势明显。因此，参数属于印刷工艺参数，可以根据设备及工艺条件
一
ＬＴＣＣ技术在微电子领域具有十分广阔的应用市场和进行摸索试验。印刷所用网版的网布规格、张力大
发展前景。小和感光膜厚度可以说是丝印线条分辨率和解析度
ＬＴＣＣ制作工艺过程中线条、图案、电阻等关的基础，其“先天性”地决定了ＬＴＣＣ丝印线路的
键部分都是通过丝网印刷的方式来实现，其优点是状态。
生产效率高、生产成本低，可以说丝网印刷工艺是本文以ＬＴＣＣ用印刷网版制作工艺为研究对象，
ＬＴＣＣ精密布线的基础。在ＬＴＣＣ微波组件中，其对首先简要介绍其工艺流程，然后针对
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