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基板处理装置以及基板处理方法.pdfVIP

基板处理装置以及基板处理方法.pdf

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    本发明提供一种处理基板的基板处理装置以及处理基板的基板处理方法。该基板处理装置的顶板在第一位置由相向构件保持部保持，在第二位置由基板保持部保持，并且与基板保持部一起旋转。就基板处理装置而言，通过控制部控制第一处理液供给部、第二处理液供给部以及喷嘴移动机构，在第一处理液喷嘴位于顶板的被保持部内的供给位置的状态下，经由相向构件开口向基板供给第一处理液，第一处理液喷嘴从供给位置移动至退避位置。然后，第二处理液喷嘴从退避位置移动至供给位置，经由相向构件开口向基板供给第二处理液。这样，与从一个处理液喷嘴依

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110010533A

    (43)申请公布日

    2019.07.12

    (21)申请号20191

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