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- 2024-04-03 发布于四川
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- | 2024-03-15 颁布
- | 2024-10-01 实施
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ICS13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
/—
GBT363062024
代替/—
GBT363062018
洁净室及相关受控环境
空气化学污染控制技术要求
—
Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments
Technicalreuirementsofairchemicalcontaminationcontrol
q
2024-03-15发布2024-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT363062024
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4污染源……………………1
5空气化学污染控制………………………2
6检测与监测………………3
()…………………
附录资料性洁净室建设材料选用
A5
()……………
附录资料性电子工业洁净室空气化学污染控制系统
B7
()……
附录资料性微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表
C9
()………………
附录资料性
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