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本发明涉及晶圆分选技术领域,且公开了一种分选机F标兵算法,该算法包括以下步骤:1)加载F标兵晶粒map文档,F标兵晶粒是均匀地分布在晶圆上的,每颗F标兵晶粒都有map行列坐标,先通过加载文件的方式获取所有F标兵晶粒的map行列坐标;2)视觉定位F标兵晶粒初始位置;3)F标兵晶粒区域划分与管理。该分选机F标兵算法,来通过使用外观与普通晶粒不一致的F标兵晶粒,配合直接输入F标兵map行列坐标、视觉定位准确的初始位置和对应进行的区域划分及管理的F标兵算法,来在膜缩比较严重时,即使芯片偏移了半颗芯片间距
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117810124A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311830583.6B07C5/36(2006.01)
(22)申请日2023.12.2
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