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标题洁净室（区）悬浮粒子的质量标准与检验规程

编号STP-QQ-704版本Ⅰ页数共4页

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目的:明确洁净室（区）悬浮粒子质量标准，规范洁净室（区）悬浮粒子检验方法。

适用范围：洁净室（区）悬浮粒子的检验。

责任者：化验员。

1.洁净室（区）悬浮粒子限度（测定标准）

尘粒最大允许数/立方米

洁净度级别测定频次

≥0.5um≥5um

300000级600001次/季

2.测试方法：

2.1方法提要

本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净环境内单位体积空气不含大于或等于

某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（区）的悬浮粒子洁净度等级。

2.2仪器

2.2.1光散射粒子计数器（用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数）；

2.2.2滤膜显微镜（用于粒径大于或等于5μm的悬浮粒子计数）。

2.2.3光散射粒子计数器使用要点。

2.2.3.1使用仪器时应严格按照仪器说明书操作。

2.2.3.2仪器开机，预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。

2.2.3.3采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。

2.2.3.4采样管必须干净，严禁渗漏。

2.2.3.5采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大于1.5m。

2.2.3.6计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误

差。

2.2.3.7必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。

3.测试规则。

3.1测试条件。

3.1.1温度和湿度。

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洁净室（区）的温度和相对湿度应与及工艺要求相适应（温度控制在18℃～26℃，

相对湿度控制在45%～60%之间为宜）。

3.1.2压差

空气洁净度不同洁净室（区）之间的压差应≥5MPa，空气洁净度级别要求高的洁净

室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。

3.2测试状态。

有静态测试和动态测试。

静态测试时，室内测试人员不得多于2人。

测试报告中应标明测试时所采用的状态。

3.3测试时间

3.3.1对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。

3.3.2对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。

3.4悬浮粒子计数.

3.4.1采样点数目及其布置。

悬浮粒子洁净度监测的采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区

设置。采样点布置规则见附录。洁净室（区）采样点布置。

悬浮粒子洁净度等级验证的采样点数目应按4.1.1和4.1.2布置。

3.4.1.1最少采样点