高纯度蚀刻气体全球市场总体规模、行业发展趋势分析.docx

全球市场研究报告

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高纯度蚀刻气体全球市场总体规模

蚀刻是采用化学和物理方法,有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程。刻蚀的目的是在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形。刻蚀分为湿法蚀刻和干法蚀刻。湿法蚀刻是利用液态化学试剂或溶液通过化学反应进行蚀刻。干法蚀刻利用低压放电产生的等离子体中的离子或游离基与材料发生化学反应，或通过轰击等物理作用而达到蚀刻的目的。其主要介质是气体。干法蚀刻的优点是各向异性(即垂直方向蚀刻速率远大于横向速率)明显、特征尺寸控制良好、化学品使用和处理费用低、蚀刻速率高、均匀性好、良率高等。

蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙烷/氧气、三氟化氮等。但由于其各向同性，选择性较差，因此改进后的蚀刻气体通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)气体。反应后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。铝和金属复合层的蚀刻通常采用氯基气体，如CCl4、Cl2、BCl3等。产物主要包括AlCl3等。

据QYResearch调研团队必威体育精装版报告“全球刻蚀气体市场报告2023-2029”显示，预计2029年全球刻蚀气体市场规模将达到1426.4百万美元，未来几年年复合增长率CAGR为8.6%。

高纯度蚀刻气体，全球市场总体规模

如上图表/数据，摘自QYResearch必威体育精装版报告“全球高纯度蚀刻气体市场研究报告2023-2029.

蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜，金属膜等蚀刻掉，而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来，这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是，图形边缘整齐，线条清晰，图形变换差小，且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体，通常多为氟化物气体，例如四氟化碳，三氟化氮，六氟乙烷，全氟丙烷，三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强，工艺控制精确，方便，无脱胶现象，无基片损伤和沾污，所以其应用范围日益广泛。

全球高纯度蚀刻气体市场前10强生产商排名及市场占有率（基于2022年调研数据；目前必威体育精装版数据以本公司必威体育精装版调研数据为准）

如上图表/数据，摘自QYResearch报告“全球高纯度蚀刻气体市场研究报告2023-2029，排名基于2022数据。目前必威体育精装版数据，以本公司必威体育精装版调研数据为准。

刻蚀气体是一个集中度高的行业，全球范围内主要的企业有Linde、SKMaterials、KantoDenkaKogyo、ADEKA、派瑞特气、Merck(VersumMaterials)、ShowaDenko、NipponSanso、Hyosung、AirLiquide等，全球排名前十大的企业占全球市场份额71%。

高纯度蚀刻气体，全球市场规模，按产品类型细分，含氟气体处于主导地位

如上图表/数据，摘自QYResearch必威体育精装版报告“全球高纯度蚀刻气体市场研究报告2023-2029.

就产品类型而言，目前含氟气体是最主要的细分产品，占据大约66%的份额（基于收入）。

高纯度蚀刻气体，全球市场规模，按应用细分，集成电路行业是最大的下游市场，占有71%份额。

如上图表/数据，摘自QYResearch必威体育精装版报告“全球高纯度蚀刻气体市场研究报告2023-2029.

就下游应用而言，目前集成电路行业是最主要的需求来源，占据大约71%的份额，其次是显示面板行业占据18%的份额。

全球主要市场高纯度蚀刻气体规模

如上图表/数据，摘自QYResearch必威体育精装版报告“全球高纯度蚀刻气体市场研究报告2023-2029.

消费层面来说，目前亚太地区是全球最大的消费市场，2022年占有74%的市场份额，之后是美洲地区和欧洲地区，分别占有15%和9%。

QYResearch

调研团队必威体育精装版发布的高纯度蚀刻气体行业研究报告，本文侧重研究全球高纯度蚀刻气体总体规模及主要厂商占有率和排名，主要统计指标包括高纯度蚀刻气体产能、销量、销售收入、价格、市场份额及排名等，企业数据主要侧重近三年行业内主要厂商的市场销售情况。地区层面，主要分析过去五年和未来五年行业内主要生产地区和主要消费地区的规模及趋势。

竞争分析：主要企业情况、新入企业、收购、并购和扩张、市场份额、机遇和挑战等

行业分析：原材料、市场应用、产品种类、市场需求、市场供给,下游市场分析、供应链分析等

市场规模：产能、产量、销售、产值、价格、成本、利润等

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