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本发明涉及一种图案化石墨烯硅晶圆制备方法，包括以下步骤：对硅晶圆表面进行活化处理；使用石墨烯分散液在所述硅晶圆上涂覆特定的图案，形成石墨烯分散液膜，所述分散液为氧化石墨烯或石墨烯；将涂覆完成的后的石墨烯分散液膜晾干，形成氧化石墨烯膜；对氧化石墨官能化的氧化烯膜加热固化处理；将加热后的硅晶圆置于还原性气氛下；通过激光对置于还原性气氛下氧化石墨烯膜照射，得到生长了图案化石墨烯的硅晶圆；通过本发明的方法，形成了图案化的石墨烯硅晶圆，从而实现了工业上的应用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117842994A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410027731.9
(22)申请日2024.01.09
(71)申请人深圳前海石墨烯产
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