基于加权反馈复振幅约束的高质量激光图案化加工方法.pdfVIP

基于加权反馈复振幅约束的高质量激光图案化加工方法.pdf

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本发明涉及基于加权反馈复振幅约束的高质量激光图案化加工方法,属于激光应用技术领域。本发明将加工图案与特定相位相乘得到目标复振幅光场,并进行傅里叶逆变换,将逆变换结果按照入射光振幅分布情况进行振幅限制,傅里叶变换后得到全息光场,对加工图案区域进行振幅加权反馈的复振幅约束,对周围背景区域进行能量加权反馈约束,重复上述步骤,得到最终的相位图。随后将相位图加载在空间光调制器上获得整形加工光场。相比传统计算方法,本方案通过额外相位约束消除了相位不匹配导致的散斑噪声,通过振幅加权反馈因子提高了算法的收敛能力

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117850187A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202410037179.1

(22)申请日2024.01.10

(71)申请人北京理工大学

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