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本申请涉及一种基于超表面的波导层间耦合器结构及制备方法，其包括依次层叠设置的衬底、绝缘层和波导覆盖层；沿着层叠方向，所述波导覆盖层中间隔地设置有超表面耦合过渡层、光输入波导和光输出波导，所述超表面耦合过渡层位于光输入波导和光输出波导之间；所述超表面耦合过渡层的有效折射率自靠近光输入波导的一端朝靠近光输出波导的一端逐渐减小；所述超表面耦合过渡层中高有效折射率的部分与光输入波导形成第一阶耦合区，所述超表面耦合过渡层中低有效折射率的部分与光输出波导形成第二阶耦合区。本申请可以提升波导层间耦合效率，并解
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117849946A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410027744.6G02B1/00(2006.01)
(22)申请日2024.01.0
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