微电子生产设备安装工程施工及验收标准.pdfVIP

微电子生产设备安装工程施工及验收标准.pdf

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1总则

1.0.1为规范微电子生产设备安装工程施工，确保微电子生产设备安装质量

和可靠运行，促进微电子生产设备安装技术的发展，定本标准。

1.0.2本标准适用于集成电路、半导体分立器件、先进封装生产设备安装工

程的施工及验收。本标准不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试

及试生产。

1.0.3微电子生产设备安装工程施工中采用的工程技术文件、承包文件对施

工及质量验收的要求不得低于本标准的规定。

1.0.4微电子生产设备安装就位应按批准的设计图纸施工，修

该用户很懒，什么也没介绍

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认证主体遵化市龙源小区微传网络工作室

IP属地河北

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