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本实用新型公开了一种晶棒加工系统上下料单元及晶棒加工系统，包括晶棒转运装置和旋转载料台，晶棒转运装置上转动设置有第一晶棒夹爪组件和第二晶棒夹爪组件，第一晶棒夹爪组件用于夹持待加工晶棒，第二晶棒夹爪组件用于夹持加工后晶棒，旋转载料台上转动设置有多个晶棒夹持工位，每个晶棒夹持工位上设置有载料夹持装置，晶棒转运装置可在旋转载料台和晶棒加工系统的多个晶棒加工工位之间移动，以将待加工晶棒从载料夹持装置运送至晶棒加工工位，和/或将加工后晶棒从晶棒加工工位运送至载料夹持装置。本实用新型缩短了上下料时间节拍，设
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220763131U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322308641.0
(22)申请日2023.08.25
(73)专利权人青岛高测科技股份有限公司
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