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厂务供应系统设备

1范围

本标准规定了厂务供应系统设备的术语和定义、供应系统分类、环境条件要求、安全要求。

本标准适用于厂务供应系统设备的配备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB50016建筑设计防火规范

GB50058爆炸危险环境电力装置设计规范

GB50160石油化工企业设计防火规范

GB50222建筑内部装修设计防火规范

GB50229火力发电厂与变电站设计防火规范

GB50219水喷雾灭火系统设计规范

GB50489化工企业总图运输设计规范

GB50116火灾自动报警系统设计规范

GB50493石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范

DB12/T3007-2017混合气体气瓶充装规定

《危险化学品安全管理条例》（中华人民共和国国务院令第591号）

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4供应系统分类

4.1一般气体及特殊气体的供应和监控

4.1.1一座半导体场所可能使用的气体约为30种上下，其气体的规格会随制程要求而有不同；但通常

可分为用量较大的一般气体，及用量较小的特殊气体两大类。

4.1.1.1一般气体包括：N₂，O₂，Ar，H₂。

4.1.1.2特殊气体分为三大类：

4.1.1.2.1惰性气体：He，SF，CO，CF，C2F，CH，CHF等。

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4.1.1.2.2燃烧性气体：SiH，SiH，BH，PH，SiHCl，CH，CH，CO等。

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4.1.1.2.3腐蚀性气体：ClHClFHBrWFNHBFBClSiFAsHClFNOSiCl，AsClSbCl等。

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4.1.1.3部分气体兼具燃烧及腐蚀性。其中除惰性气体外，剩下的均为毒性气体。SiH，BH，PH等

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均属于自燃性气体，即在很低的浓度下，一接触大气后，立刻会产生燃烧的现象。

4.1.2在供气流程上，N₂气体可采用的供气方式：由远方的产生器配管输送；使用液体槽填充供应。

O₂气体多采用液槽方式。H₂气体以气态高压瓶运输为主。气瓶运输应符合DB12/T3007-2017的规定。

Ar气体采用吸附抓取方式为主。

4.1.3配管的施工设计原则：

1

4.1.3.1无尘粒。

4.1.3.2无外漏。

4.1.3.3无逸气。

4.1.3.4无操作失误。

4.1.3.5无腐蚀。

4.1.3.6无触化现象。

4.1.4气体监控系统

4.1.4.1做好操作时的监控，以及安全上的管理。

4.1.4.2配置毒气侦测感测器。

4.1.4.324小时连续侦测。

4.1.4.4警报系统。

4.1.4.5自动广播系统。

4.1.4.6分区闪光灯警报系统。

4.1.4.7侦测到毒气泄露时，立即警报于电脑屏幕，同时启动自动广播系统及分区闪光灯警报系统，

此时相关区域全体人员应立即撤出，现场人员立即通知紧急应变小组做应急处理。

4.2化学品供应系统

4.2.1化学品供应系统多为自动供酸系统，其系统可分为四大单元：化学品来源、充填单元、稀释混

合单元、储存槽及供应单元。

4.2.2充填单元或供应单元二者为供应系统的动力部分，将化学品经管路输送到指定点。

4.2.3方法分为真空吸取及高压输送。

4.2.4且为降低化学品被污染的几率须配备佐助组件，如纯水，氮气喷枪—清洗接头；滤网风扇—保

持正压避免外界灰尘粒子进入；排气—排除溢漏化学品及本身