T 43798-2024 平板显示阵列用正性光阻材料测试方法.pdfVIP

ICS31.030

CCSL90

中华人民共和国国家标准

GB/T43798—2024

平板显示阵列用正性光阻材料

测试方法

Testmethodofpositivephotoresistformanufacturingofflatpanel

displayarray

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T43798—2024

目次

前言Ⅲ

1范围l

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4测试条件2

4.1环境条件2

4.2试剂材料2

4.3其他配套2

5测试项目2

5.1胶膜云纹2

5.2曝光量4

5.3曝光测试观察图形完整性6

5.4关键尺寸(CD)6

5.5残膜率7

5.6固含量8

5.7液体颗粒计数9

5.8粘度10

5.9相对密度11

5.10水分质量分数11

5.11金属杂质含量11

6试验报告13

I

GB/T43798—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。

本文件起草单位：京东方科技集团股份有限公司、上海彤程电子材料有限公司、中国电子技术标准

化研究院、阜阳欣奕华材料科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、福建泓光半导体材料有限

公司。

本文件主要起草人：杨澜、程龙、吴怡然、赵俊莎、曹可慰、李琳、吴京玮、岳爽、李璐、戈烨铭、何珂、

曾成财、袁晓雷。

Ⅲ

GB/T43798—2024

平板显示阵列用正性光阻材料

测试方法

1范围

本文件描述了平板显示阵列用正性光阻材料的测试方法