材料的现代分析测试方法.ppt

第二章电子探针显微分析仪(EPMA)

第一节概述第31页,共42页，2024年2月25日，星期天第二节特征X射线检测一.波谱法(WDS)1.原理布拉格方程:2dsinθ=nλ式中:λ——特征X射线波长；θ——布拉格角d——分光晶体晶面间距n——衍射级数第32页,共42页，2024年2月25日，星期天莫塞莱定律：式中：k、h、σ——常数c——光速z——原子序数λ——波长第33页,共42页，2024年2月25日，星期天波谱仪组成检测系统放大系统信号处理系统显象系统等第34页,共42页，2024年2月25日，星期天波长分散法原理图第35页,共42页，2024年2月25日，星期天波长色散X射线谱仪示意图第36页,共42页，2024年2月25日，星期天二.能谱法(EDS)1.原理式中：E——X光子能量λ——特征X射线波长c——光速h——普朗克常数第37页,共42页，2024年2月25日，星期天2.能谱仪组成检测系统信号放大系统数据处理系统显示系统第38页,共42页，2024年2月25日，星期天X射线能谱仪的基本组成第39页,共42页，2024年2月25日，星期天三.波谱仪与能谱仪比较与波谱仪相比，能谱仪的优点：1.分析速度快.2.分析灵敏度高.3.结构紧凑、稳定性好.第40页,共42页，2024年2月25日，星期天三.波谱仪与能谱仪比较与波谱仪相比，能谱仪的缺点：1.能量分辨率低.2.峰背比差、检测极限高，定量分析精度差.3.Be窗.4.LN2冷却.第41页,共42页，2024年2月25日，星期天感谢大家观看第42页,共42页，2024年2月25日，星期天关于材料的现代分析测试方法材料的现代分析测试方法

第一章扫描电子显微镜(SEM)

第一节概述第2页,共42页，2024年2月25日，星期天第二节电子束与固体样品

相互作用第3页,共42页，2024年2月25日，星期天一．背散射电子二．二次电子三．吸收电子四．透射电子第4页,共42页，2024年2月25日，星期天五．特征Ｘ射线六．俄歇电子七．阴极荧光八．电子束感生电效应１．电子束感生电导信号２．电子束感生电压信号第5页,共42页，2024年2月25日，星期天第6页,共42页，2024年2月25日，星期天第三节SEM工作原理第7页,共42页，2024年2月25日，星期天第四节SEM的构造第8页,共42页，2024年2月25日，星期天一.电子光学系统组成:电子枪,电磁聚光镜,光阑,样品室等.作用:用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源.第9页,共42页，2024年2月25日，星期天1.电子枪2.聚光镜(电磁透镜)3.光阑4.样品室第10页,共42页，2024年2月25日，星期天用于SEM的电子枪有两种类型热电子发射型:普通热阴极三极电子枪六硼化镧阴极电子枪场发射电子枪:冷场发射型电子枪热场发射型电子枪第11页,共42页，2024年2月25日，星期天几种类型电子枪性能第12页,共42页，2024年2月25日，星期天二.扫描系统组成:扫描信号发生器、放大控制器等电子学线路和相应的扫描线圈。作用:提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管电子束在荧光屏上的同步扫描信号;改变入射电子束在样品表面扫描振幅，以获得所需放大倍数的扫描像。第13页,共42页，2024年2月25日，星期天三.信号检测放大系统作用：检测样品在入射电子束作用下产生的物理信号，然后经视频放大，作为显象系