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洁净室风速培训课件

洁净室概述洁净室风速基本概念洁净室风速测量原理与方法洁净室风速调节与控制技术洁净室风速异常分析与处理洁净室风速培训总结与展望contents目录

01洁净室概述

洁净室是一种对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数进行严格控制的密闭性较好的空间，其目的是为了创造一个良好的工作环境，保障产品质量和工作人员健康。洁净室定义洁净室在微电子、光电子、精密制造、生物医药、食品加工等高科技产业中发挥着重要作用。它能够有效去除空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物，确保生产过程中的产品质量和稳定性。洁净室作用洁净室定义及作用

洁净室分类与标准根据控制对象的不同，洁净室可分为工业洁净室和生物洁净室两大类。工业洁净室主要控制空气中的尘埃、微粒等污染物，而生物洁净室则需要控制微生物、细菌等生物污染物。洁净室分类洁净室的空气洁净度等级一般采用国际标准和国内标准进行分类。国际标准ISO14644-1将洁净室分为9个等级，从ISO1级到ISO9级，数字越小，洁净度越高。国内标准《洁净厂房设计规范》将洁净室分为4个等级，从100级到10000级。洁净室标准

在半导体、集成电路等微电子产品的生产过程中，洁净室能够确保生产环境的洁净度，避免尘埃等微粒对产品造成污染。微电子行业在液晶显示、光学镜头等光电子产品的制造过程中，洁净室能够提供良好的生产环境，确保产品质量和稳定性。光电子行业在精密机械、精密仪器等产品的制造过程中，洁净室能够控制空气中的微粒和有害气体，确保产品的精度和稳定性。精密制造行业在药品生产、生物实验等生物医药领域，洁净室能够控制微生物和细菌等生物污染物，保障药品质量和实验结果的准确性。生物医药行业洁净室应用领域

02洁净室风速基本概念

风速定义风速是指空气在单位时间内通过单位面积的距离，是表示空气流动快慢的物理量。风速单位在国际单位制中，风速的单位是米每秒（m/s）。常用单位还包括千米每小时（km/h）、英尺每分钟（fpm）等。风速定义及单位

根据洁净室的等级和用途，风速标准会有所不同。一般来说，洁净室的风速应控制在0.2-0.5m/s之间，以保证空气的层流和减少尘埃粒子的悬浮。在洁净室内，某些区域或设备可能会有特殊的风速要求。例如，在人员活动频繁的区域或需要更高洁净度的区域，风速可能需要适当提高。洁净室风速要求局部风速要求洁净室风速标准

适当的风速可以形成层流，使尘埃粒子随气流流动并被排出洁净室，从而降低尘埃粒子的悬浮浓度。风速与尘埃粒子悬浮风速的大小会影响洁净室的自净时间。较高的风速可以更快地带走尘埃粒子，缩短自净时间，提高洁净室的洁净度。风速与自净时间风速的波动会影响洁净室内尘埃粒子的分布和悬浮状态，从而影响洁净度的稳定性。因此，保持恒定的风速对于维持洁净室的洁净度至关重要。风速波动与洁净度稳定性风速对洁净度影响

03洁净室风速测量原理与方法

测量原理空气流动产生的动压风速测量基于空气流动时产生的动压，通过测量动压来计算风速。传感器感应原理传感器感应到空气流动产生的压力变化，并将其转化为电信号进行传输和处理。计算公式根据伯努利方程和空气动力学原理，推导出风速与动压、空气密度等参数之间的计算公式。

03数据采集与处理系统对传感器输出的电信号进行采集、处理、记录和分析，得出风速等参数。01风速传感器用于感应和测量空气流动产生的动压，并将其转化为电信号。02微压差计用于测量空气过滤器前后的压差，以判断过滤器的阻力变化。测量仪器与设备

测量步骤1.确定测量点和测量高度。2.安装并校准风速传感器。测量步骤与注意事项

3.连接数据采集与处理系统。4.开始测量并记录数据。5.结束测量并整理数据。测量步骤与注意事项

注意事项1.确保测量环境符合洁净室要求，避免影响测量结果。2.定期校准传感器，保证其准确性。测量步骤与注意事项

0102测量步骤与注意事项4.对测量数据进行及时处理和分析，发现问题及时采取措施。3.注意传感器的安装位置和朝向，避免遮挡和干扰。

04洁净室风速调节与控制技术

手动调节通过手动操作风阀或风机变频器来改变送风量，从而调节风速。这种方式简单直接，但难以实现精确控制。自动调节利用传感器实时监测洁净室内风速，并通过控制器自动调节风阀或风机变频器，使风速保持在设定范围内。自动调节方式可以实现精确控制，提高洁净室环境质量。风速调节方式

控制技术与方法PID控制采用比例、积分、微分控制算法，根据洁净室内风速的实时值与设定值的偏差进行调节。PID控制具有结构简单、稳定性好、调节精度高等优点。模糊控制利用模糊数学理论，将人的经验知识转化为控制规则，实现对洁净室风速的智能控制。模糊控制能够处理不确定性因素，提高控制系统的鲁棒性。

要点三集散控制系统（DCS）采用分布式结构，将控制功能分散到各个控制器