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2023年电子用高纯气体项目可行性研究方案.docx

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    电子用高纯气体项目可行性研究方案

    PAGE1

    电子用高纯气体项目可行性研究方案

    目录

    TOC\h\z25876前言 3

    30403一、工艺方案的选择 3

    4450(一)、基本要求 3

    6700(二)、典型工艺技术介绍 4

    24270(三)、电子用高纯气体项目组成 6

    31001(四)、工艺技术方案的选择 7

    8725(五)、工艺技术方案的设计 9

    28220二、电子用高纯气体项目建设单位基本情况 10

    26721(一)、电子用高纯气体项目建设单位基本情况 10

    593(二)、电子用高纯气体项目主管单位基本情况 12

    283

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