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混合集成电路中Al/Au键合可靠性评价研究的开题报告

一、研究背景和意义

混合集成电路是指由多种不同的集成电路单元组成的复合型集成电路。在现代电子技术中，混合集成电路被广泛应用于通信、计算机、军工等领域。在混合集成电路的制造过程中，键合工艺是非常重要的一部分，对键合工艺的要求和掌握直接关系到混合集成电路的性能和可靠性。

由于混合集成电路中会出现多种不同材料之间的键合，Al/Au键合作为一种常用的键合方式之一，具有着很重要的作用。然而，由于材料的不同热膨胀系数和键合过程中的热应力等因素，Al/Au键合容易出现焊点脱落、裂纹等问题，影响混合集成电路的可靠性。

因此，本研究拟对混合集成电路中Al/Au键合的可靠性进行评价研究，对于混合集成电路的制造工艺以及产品的质量控制具有重要的意义。

二、研究内容和方法

1.研究内容

（1）分析Al/Au键合工艺和机理，掌握Al/Au键合过程中的关键参数和影响因素。

（2）采用实验方法，制备Al/Au键合样品，测量Al/Au键合的拉伸强度和耐热性能，分析Al/Au键合的可靠性。

（3）利用扫描电镜等检测手段，观察Al/Au键合断裂面形貌，分析Al/Au键合断裂机制。

2.研究方法

（1）制备Al/Au键合样品。通过微切割技术，将样品进行切割处理，然后通过推力式焊台，将样品进行键合。

（2）测量Al/Au键合的拉伸强度和耐热性能。利用万能材料试验机和热循环测试仪等设备，对Al/Au键合样品进行力学强度和耐热性能测试。

（3）观察Al/Au键合断裂面形貌。通过扫描电镜等检测手段，对Al/Au键合样品的断裂面进行观察和分析。

三、预期成果和意义

1.预期成果

（1）深入分析Al/Au键合工艺和机理，掌握Al/Au键合过程中的关键参数和影响因素。

（2）评估Al/Au键合的可靠性，分析Al/Au键合的断裂机制，为混合集成电路的制造工艺提供技术支持和参考。

2.意义

（1）为混合集成电路制造过程中的产品质量和可靠性控制提供技术支持。

（2）为Al/Au键合工艺的改进和优化提供技术指导。

（3）为混合集成电路的发展和应用提供技术支持和保障。