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气密仪器原理总结

1．充气阶段2.保压（稳定）（平衡）阶段3.测试阶段

充气阶段：从外部向仪器及待测腔体内进行充气达到产品所要求的测试压力。

注意：如若未达到设定的测试压力则1.1可能充气时间短了

1.2未密封好腔体

1.3或者产品自身存在泄露

二，保压阶段（稳定阶段）（平衡阶段）：

达到测试压力后，仪器断掉外部气源的供应，此时仪器和待测腔体仍然气路联通中，经过一段时间后，气体的温度和压力达到平衡后，回到设定的测试压力值，然后进入测试阶段。

注意：气体经过压缩会温度升高产生压缩热。

注意：这一阶段以皖仪气密仪器为例，进入保压阶段，仪器断掉外部气源供应，内

部气体会突然急剧变化，冲击到仪器内置的压力传感器，在仪器主界面的曲线图上表现为突然上升的曲线，随着内部气体的热平衡和压力平衡，曲线逐渐下降，经过一段时间的平衡后，进入测试阶段。【皖仪主界面的曲线图横坐标为时间，纵坐标为压力的变化值或相关的变化率（单位时间的变化值）】

注意：测试压力值（1.皖仪气密仪器主界面左上角小框内的值，非曲线图上的值）

（2.ATEQ气密仪器主界面数字）

1.压力值下降则产品泄露，NG

2.压力值不变则基本判定OK

3.压力值上升则充气时间短了或者加预平衡(ATEQ参数中的couple阶段在filltime之前)

三，测试阶段：

内部气体经过一段时间的平衡后，压力传感器会记录平衡时间结束时也即测试阶段起始时的压力值，再经过一段时间的测试后，记录测试时间结束时的压力值，比较两次压力值的差值，此差值与设定的标准值进行比较，在标准范围内则OK，否则NG

QA

问：保压阶段和测试阶段都是仪器和待测腔体都是封闭的如何区别？

答：保压阶段：压力传感器实时记录保压阶段起始时间点和结束时间点的压力值

测试阶段：压力传感器记录测试阶段起始时间点（也即和平衡阶段结束时间点）和结束时间点的压力差值,并与设定的标准值进行比较）

大泄露的几个定义:

在充气阶段，1.若气体充入的速度产品的泄露速度,可认为是大泄露,仪器直接NG报警.

2.若气体充入的速度产品的泄露的速度,会完整的经历充气阶段,并在保压平衡阶段,压力值会逐渐减小的这样一个过程,随后NG报警.

大泄露：1,检测仪器预平衡阶段压力传感器载预平衡起始点和终止点的压力差的绝对值大于标准值则报警大泄露。

2,检测仪器平衡阶段压力传感器在平衡起始点和终止点的压力差的绝对值大于标准值，则报警大泄露

通俗来讲，可以认为压力的变化太大（或者说压力的变化变动的太快），大于一定标准值，仪器判断为大泄露。