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第32卷第6期化学工业与T程技术Vo1．32NO．6

2Ol1年12月Journalo，Chemit’alIndustry＆EngineeringDec．，2011

三氯氢硅制备工艺介绍

蒋产生

(中国石化集团南京工程有限公司，江苏南京211100)

摘要：从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制

备工艺：改良西门子法和氯氢化法。前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅，其原料来源广、价格低

廉；而后者以难处理的四氯化硅与氯气、硅粉、氯化氢为原料制备三氯氢硅，解决了四氯化硅的出路，提

高了物料的利用率。两者均能降低能耗，减少污染，对社会、经济、环境具有重要意义。

关键词：四氯化硅三氯氢硅改良西门子法氯氢化法

中图分类号：TQ264．1文献标识码：A文章编号：1006—7906(2011)06—0046—06

Preparationprocessoftrichl0rOsilane

JlANGGuangsheng

(SinopecNanjingEngineering＆．ConstructionIncorporation，Nanjing211l00，China)

Abstract：Twopreparationprocessesoftrichlorosilaneforproducingpolysilieonaredescribedincludingprocessflow，

processcharacteristicsandstructureofcoreequipment．TherawmaterialsofimprovedSiemensprocessaresilicapowderand

hydrogenchloride，whichhaswidematerialsourcesandlowcost．Therawmaterialsofhydrochlorinationprocessaresilicon

tetrachloride。hydrogen，silicapowderandhydrogenchloride，whichprovideanoutletforunwieldysilicontetrachlorideanden—

hancetheutilizationrateofmaterials．Bothoftheprocesseshaveadvantagesoflowenergyconsumptionandlesspollution。

whichisimportantforsociety，economyandenvironment．

Keywords：Silicontetrachloride；Trichlorosilane；ImprovedSiemensprocess；Hydrochlorinationprocess

由于能源危机和环境保护的要求，太阳能是能改良西门子法基础上，结合其他多晶硅企业的生产

源中最引人关注的，其清洁、安全、资源丰富。单经验加以开发和优化，系统实现了闭路循环的生产，

晶硅是光电转换等器件的基础材料，太阳能电池板该法已在国内某多晶硅企业得到了成功运用，目前

系列产品是将太阳能转化为电能的有效载体，而高生产情况良好。

纯度的多晶硅是单晶硅的生产原料。对于多晶硅生1．1工艺流程

产，三氯氢硅制备工艺是首要的。三氯氢硅制备有改良西门子法的三氯氢硅制备工艺流程如图1

不同的工艺，目前生产大多采用流化床法工艺，主所示。

流生产工艺有改良西门子法硅粉转化和氯氢化的四