verios极高分辨率扫描电镜,,.pdfVIP

设备名称：极高分辨率扫描电子显微镜

设备型号：Verios460

制造商：FEI公司

价格：690万

Verios460的性能

1.电子光学系统

1.1辨率：二次电子（SE）像

*1.1.115V至2V整个范围：0.6nm（SE）二次电子像辨率

*1.1.21V时0.7nm（SE）

*1.1.3500V时1.0nm（SE）

*1.1.4200V时1.2nm（ICD）

1.2放大倍率：范围40～900,000倍

根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准

1.3加速电压：0.02V～30V

*1.4电子枪：带电子束单色器技术的必威体育精装版一代肖特基场发射电子枪

*1.5电子束流：0.8pA～100nA，并连续可调

*1.6物镜及光阑：恒功率物镜，物镜光阑能自加热自清洁。

1.7电子束流：具有电子束流测量

*1.8具有电子束减速模式:样品台偏压范围宽，从-4000V至50v。

*1.9具有一体化等离子清洗装置

2.样品室

2.1样品室：可容纳样品直径不小于100mm。

*2.2样品台：五轴马达驱动样品台，移动范围指标：

X=100mmY=100mm20mm

连续旋转：R=360倾斜角T：范围-10º～+60º

*2.3X/Y重复精度：0.5µm

3.探测器：

3.1ET二次电子探头（主机标配）

3.2(,TLD-SETLD-BSE

极靴内探测器含二次电子和背散射电子探测模式和）（主机标配）

3.3样品室红CCD相机（主机标配）

*3.4ElstarIn-ColumnDetector（ICD探头）（选配）

*3.5Nav-Cam+大样品导航装置。（选配）

通过在样品仓门上加装光学相机，提供样品台的彩色光学照片（像素为600万，或3072X2048

像素），照片可覆盖70mm的样品台范围。样品台导航系统利用照片可以寻找到感兴趣的位置。

4.真空系统

4.1无油真空系统

4.2由涡轮子泵，前级机械泵，和离子泵组成

4.3样品室真空度：优于2.6×10-6mbar（连续抽真空24小时后）

5.数字图像处理器

5.1电子束扫描停留时间：25ns-25ms/pixel.

5.2扫描及图形存储：最大6144×4096像素

5.3图像显示：1920×1200像素，24”LCD显示器2台

5.4单幅或四幅图像显示

5.5图像记录文件格式：TIFF(8位,16位或24位),BMP和JPEG可选

5.6具有SmartSCAN智能扫描技术

5.7具有DCFI(漂移补偿帧积)

6.控制和数据处理系统

6.1基于网络架构的数据传输系统

6.2计算机系统

DVD刻录机；24”LCD显示器

6.3基于WindowsXP的32位图形用户界面

6.4操作方式：键盘、鼠标

6.5可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、

倾斜补偿

配置清单：

序