硅片电池片流程.docx

1、车间段位构成

电池片流程

WHQ：硅片为太阳能电池片的载体，硅片的质量决定了电池片的转换效率。而该工序则是对硅片的来料检测，主要是包括厚度，TTV，电阻率，外观（破片，缺角，孔洞，脏污）

需注意:

切割方向会厚薄不均，放片时需180度错落放置以保证放入载体厚薄均匀，切割方向需要垂直与印刷细栅方向，预防水波纹出现。

线痕：单线痕

密集线痕

3）原硅片因切割后因有清洗所以会有粘度导致原硅片粘连，放置时需轻微摇晃。制绒：目的：去除表面损伤层，对表面进行凹凸处理，清楚表面硅酸钠，氧化物，油污以

及金属。以提高光电转换率。

需注意:

减重，活性不均匀会影响到后面PEVCD工序使硅片出现问题制绒过程中，制绒面朝下，装入载体，载体单孔面为制绒面。在制品时间为两小时，两小时内要及时送入下一工序。

扩散制结：太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光电转化，而扩散炉就是制造太阳能电池P-N结的专用设备。扩散用三氯氧磷为扩散源。在830度的高温下用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷离子，通过硅原子质检的空隙向硅片内扩散，形成P-N结。

需注意:

石英舟一舟可放置500片，扩散面需跟制绒面在同一面上，扩散为单面扩散，工艺流程为83分钟。

湿法刻蚀：利用HNO3和HF的混合液体对扩散后硅片下表面和边缘进行腐蚀,去除边缘的

N型硅,使得硅片的上下表面相互绝缘。

需注意:刻蚀分为干湿两法，目前采用湿法，刻蚀后需做亲水性测试。如何判断亲水性是否良好？

用纯水滴在硅片上看硅片上的扩散面积。机械臂流片需要返工因臭氧层丢失。

PEVCD: 镀减反射膜可以有效降低光的反射.

需注意:石墨舟一周可放置240片硅片，流程为50分钟，在此阶段会发生色斑，色差等问题。

丝网印刷：把带有图案的模版附着于丝网上进行印刷，通常丝网由尼龙、聚酯、丝绸或金属网制作而成，承印物直接放在带有模版的丝网下面，浆料在刮刀的挤压下穿过丝网间的网孔，只有图像部分能穿过，印刷到承印物上

印刷流程为背电极——背电场——正电极。

需注意：断栅问题会出现在此工艺段。也是电池片的最后一大工艺段。