BS ISO 5618-2-2024 Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for GaN crystal surface defects Part 2:Method for determining etch pit density 精细陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷)ー氮化镓晶体表面缺陷试验方法第2部分: 腐蚀坑密度的测定方法.pdf
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BSISO5618-2:2024
Fineceramics(advancedceramics,
advancedtechnicalceramics)-Test
methodforGaNcrystalsurfacedefects
Part2:Methodfordeterminingetchpitdensity
bsi.
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