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本公开提供一种多系数耦合模态的声表面波谐振器，包括：衬底；压电层，设置于衬底上；电极层，设置于所述压电层上，包括至少2根叉指电极；其中，所述压电层制备材料为Ycut铌酸锂，压电层基于压电系数e15、和/或压电系数e16、和/或压电系数e34相互耦合共同激发声波；叉指电极间距和电极层厚度比值在0.5‑10。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118074665A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410375231.4
(22)申请日2024.03.29
(71)申请人中国科学技术大学
地址23
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