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具有光学对准标记的板材包含基板以及光学对准标记。基板包含电路设计区。光学对准标记位于基板的电路设计区外。光学对准标记包含周期性图案以及非周期性图案。非周期性图案邻近周期性图案。非周期性图案包含阴刻图案与阳刻图案。通过光学破坏性干涉及漫射原理，周期性图案可产生明暗对比明显的图案。非周期性图案利用阴刻与阳刻的原理，提供特殊图形增强图案对比。因此，非周期性图案的特殊图案可避免辨识困难，提升光学对准的精确度。板材上的叠层材料特性不同，因此通过同时设置阴刻图案与阳刻图案，可应对不同材料所产生的色差。通过设
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118073323A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202211466553.7
(22)申请日2022.11.22
(71)申请人鸿扬半导体股份有限公司
地址中国
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