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2024-05-25 发布于四川
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一种磷化铟单晶生成装置.pdf

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本发明公开了一种磷化铟单晶生成装置，包括加热箱和反应箱，所述加热箱一侧固定连接有连接管，所述连接管另一侧固定连接在反应箱上，且加热箱和反应箱均与连接管相连通，所述连接管外壁包裹有保温棉，所述连接管内壁底部固定连接有固定块，所述固定块靠近顶部位置开设有圆孔，所述圆孔中滑动连接有滑杆。本发明，加热箱内部的气压增大，当达到一定程度的时候，磷蒸汽将会加压密封板向反应箱移动，且弹簧受到压缩，同时密封板移动的距离越大，由于半圆锥槽的设置，通气的孔就越大，有效解决了背景技术中提出的问题，进而实现了对磷蒸汽的流

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118064973A

(43)申请公布日2024.05.24

(21)申请号202410398496.6

(22)申请日2024.04.03

(71)申请人中讯半导体（江苏）有限公司

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