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本申请公开了一种单晶薄膜体声波谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该单晶薄膜体声波谐振器包括：单晶压电薄膜、设置在所述单晶压电薄膜其中一侧的叉指状电极以及设置在所述单晶压电薄膜另一侧的性能增强结构层；所述叉指状电极所形成的谐振器的孔径在所述单晶压电薄膜的厚度方向上的投影与所述性能增强结构层在所述单晶压电薄膜的厚度方向上的投影至少有部分重叠。本申请提供的单晶薄膜体声波谐振器及滤波器，能够抑制寄生模式，提高主振动模式的Q值。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118074650A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202211480605.6
(22)申请日2022.11.24
(71)申请人天津大学
地址300072天津
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