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本申请公开了一种用于MicroLED检测的自动对焦方法及系统。该方法包括：将待测MicroLED晶圆表面划分为若干个区域，将若干个区域依次移动到激光器测量范围内进行测距；将若干个区域依次移动到检测相机的视野范围内进行取像，并且取像前，根据测距的距离值和获取的最佳对焦距离调整各区域的对焦距离；对所述检测相机取像获得的图片进行质量评价，若某一区域对应图片的质量评价值不在预设质量范围内，则控制所述检测相机根据预先设置的清晰度评价函数调焦，直至找到最佳清晰度的焦距位置，调焦完成后控制所述检测相机对该
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115278072A
(43)申请公布日2022.11.01
(21)申请号202210875129.1
(22)申请日2022.07.25
(71)申请人武汉精立电子技术有限公司
地址4
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