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本发明提供了一种基于谐振腔法的材料介电常数和厚度测量方法，具体涉及材料介电常数和厚度测量技术领域。本发明通过调整分离式介质谐振器的谐振模式，利用分离式介质谐振器对待测材料进行测量，得到待测材料和介质柱内以及空气中的场分布，结合分离式介质谐振器与待测材料之间的边界关系，确定待测材料的传播常数和介质中的波数，计算得到待测材料的介电常数。本发明方法基于谐振腔一腔多模的特性，实现了对待测材料介电常数和材料厚度的同时测量，有效降低了材料属性的测试成本，提高了待测材料的材料厚度和介电常数的测量精度，为电子设
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118068092A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410290039.5
(22)申请日2024.03.14
(71)申请人中电科思仪科技股份有限公司
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