一种能自动调节高度的夹爪机构及其蒸镀装置.pdfVIP

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2024-05-25 发布于四川
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一种能自动调节高度的夹爪机构及其蒸镀装置.pdf

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本实用新型提供一种能自动调节高度的夹爪机构及其蒸镀装置，包括有夹爪安装组件，夹爪安装组件连接有夹爪升降平台，夹爪升降平台远离夹爪安装组件的一侧设置有齿条，夹爪机构还包括有夹爪，夹爪与夹爪升降平台滑动连接，夹爪转动连接有转轴，转轴外壁连接有齿轮，齿轮与齿条啮合连接，夹爪还连接有电机，电机驱动转轴旋转，夹爪的夹持端设置有压力传感器。本申请中，压力传感器测量夹爪夹持端的受力，并根据受力情况，在真空下自动调整夹爪机构的高度位置，可以避免基板自重所产生的或夹爪高度位置不一造成的基板滑移脱落，且无需开腔手动

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220999814U

(45)授权公告日2024.05.24

(21)申请号202323029750.5

(22)申请日2023.11.09

(73)专利权人福建华佳彩有限公司

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